掃描電鏡主要應(yīng)用于對樣品微區(qū)形貌，結(jié)構(gòu)與組成進(jìn)行觀察與分析。 它以分辨率高，景深好和操作簡單而被廣泛應(yīng)用于材料學(xué)，物理學(xué)，化學(xué)，生物學(xué)，考古學(xué)，地礦學(xué)和微電子工業(yè)。
臺式掃描電子顯微鏡(Desktop Scanning Electron Microscope，簡稱DSEM)是一種體積小巧、操作簡便的電子顯微鏡，主要用于各種樣品的微細(xì)結(jié)構(gòu)和特征的形貌觀察及微區(qū)分析。 它結(jié)合了落地式掃描電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)，具有高放大倍數(shù)和大景深，同時(shí)體積小、操作簡便。
臺式掃描電鏡的主要功能包括：
微觀形貌觀測：通過高能電子束激發(fā)樣品表面的物理信號，如二次電子、背散射電子等，檢測這些信號以獲取樣品表面的形貌圖像，分辨率可達(dá)納米級別。
元素分析：部分臺式掃描電鏡配備能譜儀等附件，可以對樣品表面的元素進(jìn)行定性和定量分析，了解材料的化學(xué)成分和組成。
臺式掃描電鏡的應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括：
材料科學(xué)與工程：用于金屬、陶瓷、復(fù)合材料、納米材料等的表面形貌和結(jié)構(gòu)分析，評估材料性能和可靠性。
生物學(xué)和醫(yī)學(xué)研究：觀察細(xì)胞、組織、微生物等生物樣本的形態(tài)和結(jié)構(gòu)，對于疾病診斷、藥物作用機(jī)理研究具有重要意義。
納米技術(shù)：提供納米級別的分辨率，研究納米材料和納米器件的結(jié)構(gòu)和性能。
半導(dǎo)體和微電子：用于芯片和微電子元件的質(zhì)量檢測，確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能。
地質(zhì)學(xué)和環(huán)境科學(xué)：分析巖石、礦物、土壤以及環(huán)境污染物的微觀結(jié)構(gòu)，理解地球形成和環(huán)境保護(hù)。
工業(yè)質(zhì)量控制：在制造業(yè)中用于產(chǎn)品質(zhì)量檢測，提高生產(chǎn)質(zhì)量和效率。
教育和培訓(xùn)：為學(xué)生提供直觀的學(xué)習(xí)材料，幫助理解微觀世界的工作原理。
綜上所述，臺式掃描電鏡以其高分辨率、多功能性和操作便捷性，成為多個(gè)領(lǐng)域研究中重要的工具。
